典型光束穩定系統由2個位置敏感探測器PSD，4個Nanmotor壓電納米位移促動器SNM01組成的2個電動鏡架（用于科研級光束穩定系統）或2個快速壓電直驅鏡架SNM03電動鏡架（用于工業級光束穩定系統），1個智能控制器SDRV01（科研級）或SDRV03（工業級），4個SQM25鏡架（分光鏡用），1個SLH25鏡架（聚焦鏡用）、若干SPH系列高穩定桿架和相關光學元件（客戶自供）組成閉環，用來消除輸入光束的漂移，保證輸出光束指向和位置的穩定。
- 產品介紹
- 性能參數
- 規格尺寸
- 資料下載
信歐光電所開發的光束穩定系統具有獨立自主知識產權，系統主要基于對激光束的兩個位置點采樣,實現空間上4個自由度的調節，通過位置探測器PSD反饋位置誤差信號來控制Nanomotor,從而實現保持光束位置的恒定。系統分為兩類：科研級光束穩定系統（型號：S-LBS1000-R）和工業級光束穩定系統（型號S-LBS1000-I）），其中前者基于公司自主研發和生產的Nanomotor壓電納米位移促動器SNM01，后者基于公司自主研發和生產的快速直接壓電驅動鏡架SNM03，響應速度比科研級光束穩定系統所用的Nanomotor快10倍。由于Nanomotor的體積小，分辨率高，失電位置保持的特性使得Nanomotor非常的適合于此類光學系統的調節，另外Nanotomotor還可以應用于真空、紫外等應用環境。目前，Nanomotor正被廣泛用于控制激光的指向漂移，能夠顯著提升系統的準確性，其應用范圍包括半導體晶圓在生產制造過程中的測量、曝光控制、光束跟隨等。同時也廣泛應用在科研領域，如激光腔鏡調節、晶體相位匹配、晶體腔內移位、偏振元件調節、薄膜測量系統，晶圓圖案檢測等。
光束穩定系統（科研級）
光束穩定系統（科研級）軟件控制界面
光束穩定系統（工業級）
光束穩定系統（工業級）軟件控制界面
光束穩定系統的總體布局如圖，在這個系統中，激光束經過兩個反射鏡M1和M2到達工作區域，每一個反射鏡架裝有兩個實時調節位置的Nanomotor。同時，在光路中插入兩個分光片，每一片分光片分別將少部分光反射到位置探測器PSD1和PSD2的光敏面上。理想狀態下，PSD1所測光束應與M2反射鏡上的光斑為物象關系，PSD1給出的信號用以控制M1反射鏡，從而保證光斑在M2上的位置為恒定。光斑位置固定以后，M2鏡架用于調整激光光束指向，PSD2用于檢測光束偏差后，驅動M2，確保光束輸出位置居中。兩個PSD互為參照點，從而在空間中確定一條直線，即輸出光束被穩定在一條直線上，實現光束指向和位置的恒定不變。
